1979-1983，合肥工业大学 获学士学位；

1985-1987，西安电子科技大学 获硕士学位；

1988-1991，学院获博士学位，并留校任教；

1997-1998，香港科技大学 访问学者；

2017.01-02，University of California at Berkeley 高级访问学者。

1991.05-1993.12，学院 讲师

1994.01-1996.04，学院 副教授

1996.05-迄今，学院 教授

本科生：微电子机械系统概论（双语）48学时

硕士生：微电子机械系统 32学时

博士生：微执行器 32学时

如何做好研究生学位论文[研讨]8学时。

微传感器；无线传感微系统；MEMS/NEMS理论、技术与应用。

前沿技术：PT对称MEMS，无线传感微系统 应用技术：MEMS风速风向传感器

在MEMS业界公认的国际顶级期刊JMEMS(IEEE，双月刊)发表论文23篇；

在国际会议发表论文被CPC收录100余篇（其中7次特邀报告）；

主编英文丛书1部（Springer）、中文专著2本、译著8本；

转让中国发明专利3项；

以第一获奖人（技术内容不重叠）获教育部自然科学一等奖2项（2002、2006）、技术发明一等奖1项（2018），江苏省科学技术一等奖1项（2016），国家科技进步二等奖1项（2019）。

国际学术兼职：
IEEE Sensors Conference年会TPC委员（2002-2018）；

7th IEEE International Conference on NEMS技术委员会共同主席（2012.03，日本，京都）；

The Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro/Nano Technologies领导委员会主席（2012-2014）；

TRANSDUCERS TPC委员（2009-2019）；

英国《Journal of Micromechanics and Microengineering》编委（2012-）。
国内学术兼职：
中科院传感技术联合国家重点实验室（微系统所、电子所）学术委员会委员；

中科院纳米器件重点实验室（苏州纳米所）学术委员会委员；

微米纳米加工技术国家级重点实验室（北京大学、上海交通大学）学术委员会委员；

清华大学智能微系统教育部重点实验室学术委员会委员；

可靠性物理与器件国家级重点实验室（工信部5所）学术委员会委员；

中国微米纳米技术学会副理事长；《传感技术学报》主编。
政府咨询服务：
曾任国家“十二五”863计划微纳制造技术主题专家组专家(召集人)、国家“十五”863计划MEMS重大专项总体组专家、国家自然科学基金委员会第13届信息科学学部专家评审组成员、国务院学位委员会第7届学科评议组成员、第7届教育部科技委先进制造学部委员、国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”重点专项指南编制专家。

国家杰出青年科学基金获得者（2003）；

国家高层次人才计划1（2004）；

国家高层次人才计划2（2006）；

IEEE Fellow（2015）。

MEMS风速风向传感器课题：秦明教授、易真翔副教授。

PT对称MEMS课题：王立峰副教授、董蕾讲师、黄见秋副教授、韩磊副教授。

每周组会。