1997.9-2001.6 合肥工业大学学士

2001.9-2004.3 合肥工业大学硕士

2004.3-2008.3 学院博士

2008.3-至今学院MEMS教育部重点实验室

2011.9-2012.9 荷兰代尔夫特理工大学博士后

中国仪器仪表学会-元件/工艺分会理事，中国微米纳米学会会员

1.微纳器件（MEMS）、柔性电子器件理论研究、器件设计及制造技术研究

2.智能微系统与集成

3.低维材料的材料特性多物理场耦合测试技术

1.主持国家级863项目，国家自然基金等项目4项，参与4项。重点研究不同应用领域用的高灵敏度，宽量程，高温等MEMS器件设计及加工工艺研究。

2.已发表国内外期刊论文30余篇、已授权中国发明专利20余项。

3.获2019年度国家科学技术进步奖，二等奖（排名第3）

获2018年度江苏省科学技术奖，二等奖（排名第3）

4.参与编著《机械工程手册第29篇》等书

获2019年度国家科学技术进步奖，二等奖（排名第3）

获2018年度江苏省科学技术奖，二等奖（排名第3）